Наклонный пьезопозиционирующий столик

Общее описание

S54.T1S/K-C – это высокоточный пьезоэлемент наклона, перемещающийся по углам θx и θy и перемещающийся со скоростью до 2 мрад. В его конструкции используется гибкая шарнирная конструкция, не вызывающая трения, обеспечивающая быстрое время отклика и превосходную точность позиционирования. Версия с замкнутым контуром с датчиками обеспечивает точность ±0,011% полной шкалы, что делает ее подходящей для высокоточных приложений. Он также имеет апертуру 110×80 мм, подходящую для применения в условиях пропускающего света. Отличительные особенности: Наклон по осям θX и θY Конструкция с большой апертурой: 110 × 80 мм Грузоподъёмность до 300 г

Применение

• Регулировка положения маски и подложки
• Производство полупроводников
• Калибровка датчиков ускорения и угловой скорости
• Выравнивание и фокусировка образцов
• Схемы с пропусканием света